Chambergard™ FV50D XL 氣體擴(kuò)散器
快速減少負(fù)載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時間，并具有高效、堅(jiān)固的鎳盤膜。
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額定循環(huán)次數(shù)為 1,000,000 次，設(shè)計(jì)用于在更高的入口壓力下運(yùn)行
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緊湊型擴(kuò)散裝置中的專利燒結(jié)鎳技術(shù)在所有應(yīng)用中都能提供卓越的性能
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從進(jìn)入的氣體中去除大于 0.0015 μm 的顆粒，最大限度地減少晶圓缺陷
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易于安裝/改裝到現(xiàn)有工具中，最大限度地減少停機(jī)時間
應(yīng)用Chambergard™ FV50D XL 氣體擴(kuò)散器應(yīng)用
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向大氣提供快速氣體排放，而不會干擾或向腔室中的晶圓添加顆粒
規(guī)格
材料 擴(kuò)散器元件 燒結(jié)鎳膜過濾器
房子 316 L 不銹鋼
表面處理內(nèi)部 <32 微英寸 Ra
O型圈 材料 氟彈性體
大小 2-229
凹槽 ID 59.9 毫米（2.36 英寸）
凹槽外徑 67.9 毫米（2.67 英寸）
凹槽深度 2.6 毫米（0.10 英寸）
連接 入口 1/4“ VCR 兼容公墊片密封接頭®
出口 ISO NW50 隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容
下游清潔度 清潔度小于 0.03 顆粒/升 （< 1 顆粒/英尺3） >0.01 μm 額定流量
去除等級 >0.0015 微米
作條件 最大入口/出口壓力，出口真空 4 巴（60 磅/平方英寸）
最大壓差 5 巴（75 psid）
最高工作溫度 100°C （212°F），帶 O 形圈
400°C （752°F），無 O 形圈
保證 2年*