AFC700 高質(zhì)量流量控制器（Viton、Kalrez 密封）
MFC是Mass Flow Controller的縮寫，它是一種使氣瓶中的氣體以用戶所需的恒定流量流動的裝置。盡管各個制造商的單位略有不同，但通常使用標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘 (SCCM)。
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特點與優(yōu)勢
■??AFC770（高質(zhì)量流量控制器）通常設(shè)計用于半導(dǎo)體固定，包括工業(yè)應(yīng)用。
■?AFC770（高質(zhì)量流量控制器）的滿量程范圍為51 SLM 至500 SLM。?
■?AFC770（高質(zhì)量流量控制器）的誤差相當(dāng)于滿量程的1%。?
■?AFC770（高質(zhì)量流量控制器）被設(shè)計為需要很少預(yù)熱時間的產(chǎn)品。?
■?AFC770（高質(zhì)量流量控制器）默認使用9 針D-sub 連接器。?
■?AFC770（高質(zhì)量流量控制器）可與GMC1200 等MFC 電源和顯示單元一起使用。?
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產(chǎn)品
方面
規(guī)格
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全量程（N2 等效）
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51 SLM~ 500 SLM |
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最大入口壓力
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150 磅/平方英寸
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正常工作壓差
（MFC出口處的大氣壓力）
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?45 至 75 psid
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控制范圍
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滿量程的 2% 至 100%?
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準(zhǔn)確度（模擬）
（包括非線性、遲滯、
和不可重復(fù)性（參考 760mmHg 和 0°c）
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滿量程的±1.0%
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重復(fù)性
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滿量程的±0.2%
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解決
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滿量程的1.0%?
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溫度系數(shù)
零
跨度
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< FS 的 0.05%/°C
<滿量程的 0.05%
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預(yù)熱時間（達到穩(wěn)態(tài)性能 FS 的 0.2% 以內(nèi)）
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< 2 分鐘
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控制器穩(wěn)定時間
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< 2 秒
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壓力系數(shù)
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< 讀數(shù)/psi 的 0.02 %
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正常工作溫度范圍
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0°C 至 50°C?
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所需輸入電壓
最大限度。啟動時的電流（前 2 秒）
平靜狀態(tài)下的典型電流
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±15 VDC（±5%?）@200 mA
+13~30VDC(?±5%?)@300mA（可選）
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設(shè)定點命令信號
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0 至 5 VDC（選項 4~20 mA）
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輸出信號
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0 至 5 VDC??（選項 4~20 mA）
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連接器類型 模擬
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9 針“D”型?
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遠程模式
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RS485、RS232
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接液材料
標(biāo)準(zhǔn) 可選
（密封件和閥座）
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316L 不銹鋼、維申、?卡爾雷斯
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外部泄漏完整性 (scc/sec He)
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 通過關(guān)閉閥門
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<1×10(-9)
< FS 的 1.0%，在 40 psig 入口壓力?下進入大氣（為確保無流過，建議使用單獨的正截止閥。）
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配件（兼容）
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世偉洛克 2 VCR，?
1/2" 世偉洛克
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