Satellite XT 氣體探測(cè)表：
| 傳感器 |
傳感器訂貨號(hào) |
額定量程 |
備注 |
| AsH3 |
砷化氫（3 電極） |
9602-6001 |
0 ... 1.00 ppm |
? |
| AsH3 |
砷化氫（2 電極） |
9602-6000 |
0 ... 1.00 ppm |
特殊應(yīng)用 |
| AsH3 |
砷化氫（2 電極） |
9602-6002 |
0 ... 10.0 ppm |
特殊應(yīng)用 |
| B2H6 |
乙硼烷 |
9602-6200 |
0 ... 1.00 ppm |
? |
| Br2 |
溴氣 |
9602-6800 |
0 ... 5.00 ppm |
? |
| Cl2 |
氯氣 |
9602-5300 |
0 ... 5.00 ppm |
? |
| ClF3 |
三氟化氯 |
9602-7410 |
0 ... 1.00 ppm |
? |
| ClO2 |
二氧化氯 |
9602-7400 |
0 ... 1.00 ppm |
? |
| CO |
一氧化碳 |
9602-5400 |
0 ... 500 ppm |
? |
| COCl2 |
光氣 |
9602-6600 |
0 ... 1.00 ppm |
? |
| F2 |
氟氣 |
9602-6400 |
0 ... 5.00 ppm |
? |
| GeH4 |
鍺烷 |
9602-6900 |
0 ... 5.0 ppm |
? |
| H2 |
氫氣(1%) |
9602-5100 |
0 ... 1.000 % vol. |
? |
| H2 |
氫氣(4%) |
9602-5101 |
0 ... 4.00 % vol |
特殊量程 |
| H2S |
硫化氫 |
9602-5200 |
0 ... 100 ppm |
? |
| H2S |
硫化氫（有機(jī)） |
9602-5201 |
0 ... 30.0 ppm |
特殊應(yīng)用 |
| H2Se |
硒化氫 |
9602-5600 |
0.00 ...5.00 ppm |
? |
| HBr |
溴化氫 |
9602-7000 |
0.00 ...5.00 ppm |
? |
| HCl |
氯化氫 |
9602-5800 |
0.00 ...5.00 ppm |
? |
| HCN |
氰化氫 |
9602-5700 |
0 ... 30.0 ppm |
? |
| HF |
氟化氫 |
9602-6500 |
0 ... 10.0 ppm |
? |
| HMDS |
六甲基二硅氮烷 |
9602-6715 |
0 ... 0.500 % vol |
? |
| HMDS |
六甲基二硅氮烷 |
9602-6714 |
0 ... 500 ppm |
? |
| N2H4 |
聯(lián)氨 |
9602-7600 |
0 ... 1.00 ppm |
? |
| NH3 |
氨氣100ppm |
9602-6704 |
0 ... 100 ppm |
標(biāo)準(zhǔn) |
| NH3 |
氨氣1000ppm |
9602-6705 |
0 ... 1000 ppm |
標(biāo)準(zhǔn)，更高量程 |
| NO |
一氧化氮 |
9602-6705 |
0 ... 250 ppm |
? |
| NO2 |
二氧化氮? |
9602-7300 |
0 ... 25.0 ppm |
? |
| O2 |
氧氣 |
9602-5500 |
0 ... 25.0 % vol. |
? |
| O3 |
臭氧 |
9602-7100 |
0 ... 1.00 ppm |
? |
| O3 |
臭氧 |
9602-7101 |
0 ... 1.00 ppm |
排氣監(jiān)控 |
| PH3 |
磷化氫（2 電極） |
9602-6100 |
0 ... 1.00 ppm |
特殊應(yīng)用 |
| PH3 |
磷化氫（3 電極） |
9602-6101 |
0 ... 1.00 ppm |
? |
| SiH4 |
硅烷 |
9602-6300 |
0 ... 50.0 ppm |
? |
| SO2 |
二氧化硫 |
9602-5900 |
0 ... 25.0 ppm |
? |
| TEOS |
正硅酸乙酯 |
9602-7500 |
0 ... 100 ppm |
? |
| TMB |
硼酸三甲酯 |
9602-7510 |
0 ... 200 ppm |
? |
| TMP |
亞磷酸三甲酯 |
9602-7800 |
0 ... 30.0 ppm |
? |
?
?
可燃?xì)怏w傳感器技術(shù)參數(shù)：
| 物質(zhì)/傳感器 |
傳感器訂貨號(hào) |
額定量程 |
備注 |
| CH4 |
甲烷 |
9602-9900 |
0 ... 100 LEL |
僅限Satellite C/標(biāo)準(zhǔn) |
| CH4 |
甲烷 |
9602-9901 |
0 ... 100 LEL |
僅限Satellite C |
| CH4 |
甲烷 |
9602-9902 |
0 ... 100 LEL |
Sat-Ex C?版本 |
| CH4 |
甲烷 |
9602-9903 |
0 ... 100 LEL |
Sat-Ex C?版本 |
| CH4 |
甲烷 |
9602-9905 |
0 ... 100 LEL |
Sat-Ex C?版本 |
?
?
熱裂解模塊電化學(xué)傳感器技術(shù)參數(shù)：
| 傳感器配置 |
傳感器訂貨號(hào) |
額定量程 |
備注 |
| C4F6 |
六氟化四碳 |
9602-9732 |
0.....50.0 ppm |
? |
| C5F8 |
八氟環(huán)戊烯 |
9602-9730 |
0 ... 20.0 ppm |
? |
| CH3F |
氟甲烷 |
9602-9720 |
0 ... 0.500 % vol |
? |
| DCE 1,2 |
二氟乙烯 |
9602-9600 |
0 ... 1000 ppm |
? |
| NF3 |
三氟化氮 |
9602-9700 |
0 ... 50.0 ppm |
? |
| SF6 |
六氟化硫 |
9602-9710 |
0 ... 0.500 % vol. |
? |